Grafito revestido SIC (PERMA KOTE®)
Con el rápido progreso en los productos semiconductores de densidad más elevada, ha crecido la demanda por el graffiti purificado para reducir la deserción del gas de superficies de carbono así como la cantidad de polvo e impurezas. Logrado esto depositando una capa SIC en grafito isótropo usando un proceso CVD. PERMA KOTER es muy usado en la industria manufacturera de semiconductores.
Grafito revestido SIC (PERMA KOTE®)
Susceptor tipo Pancake
Los susceptores usados en procesos que forman la capa epitaxial en obleas semiconductoras, tanto si habla de tipo pancake o barril, requieren un grafito revestido SIC.
Grafito revestido SIC (PERMA KOTE®)
Susceptor barril
PERMA KOTE® es un producto de grafito revestido con SIC muy purificado, que tiene resistencia a la corrosión y al calor.
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