SiC coated graphite(PERMA KOTE®)
Avec les progrès rapides dans les produits semi-conducteurs à haute densité, la demande de graphite hautement purifié a augmenté pour réduire la désorption du gaz des surfaces en carbone ainsi que les quantités de poussière et d’impuretés. Fabriqué par dépôt d’une couche SiC sur du graphite isotrope grâce au processus CVD, PERMA KOTER® est largement utilisé dans l’industrie de fabrication des semi-conducteurs.
Graphite recouvert de SiC (PERMA KOTE®)
Le Suscepteur « pancake »
Les suscepteurs utilisés dans les processus permettant de former une couche épitaxiale sur les plaquettes semi-conductrices, qu’ils soient de type crêpe ou de fût, exigent un graphite recouvert de SiC.
Graphite recouvert de SiC (PERMA KOTE®)
Le suscepteur de fût
PERMA KOTE® est un produit en graphite recouvert de SiC hautement purifié, présentant une résistance aux fortes températures et à la corrosion.
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