Grafiet bedekt met SiC (PERMA KOTE®)
Met de snelle vooruitgang inzake halfgeleiderproducten van hoge dichtheid stijgt de vraag naar zeer zuiver grafiet teneinde de gas-desorptie aan koolstofoppervlakken en de hoeveelheden stof en onzuiverheden te verminderen. Gefabriceerd door een laag SiC aan te brengen op isotroop grafiet dankzij het CVD-procédé, wordt PERMA KOTE® volop gebruikt in de industrie voor de productie van halfgeleiders.
Grafiet bedekt met SiC (PERMA KOTE®)
Susceptor 'pannenkoek'
De susceptoren die gebruikt worden in het procédé waarbij een epitaxiale laag aangebracht wordt op halfgeleiderplaatjes, zowel van het 'pannenkoek' type als die in kokervorm, hebben met SiC gecoate grafiet nodig.
Grafiet bedekt met SiC (PERMA KOTE®)
Susceptor koker
PERMA KOTE® is een product in zeer zuiver grafiet bedekt met SiC dat een hoge weerstand biedt tegen hoge temperaturen en tegen corrosie.
Composieten en andere producten
TOYO TANSO FRANCE S.A. - Z.A. du Buisson de la Couldre - 9-10 rue Eugène Hénaff - 78190 Trappes - France
Tél. : +33 1 30 66 35 35 - Fax : +33 1 30 66 31 69
Copyright Toyo Tanso France - Janvier 2010